BPS-iF30 HP マイクロエレクトロニクス
ウェットプロセス向け
超高純度流量コントローラ

業界実績より証明 – 半導体製造 (およびそれ以降) で
最も超高純度ポンプ！
インペラとポンプヘッドケーシングの間に機械的な接触が
ないため、摩耗がなく、パーティクルの発生も理論上、
事実上ありません。

極めて低い粒子脱落

エアー駆動式ポンプよりも大幅に低い
Levitronix^®ポンプの液体に触れる表面積は、同等パワーの
エアー駆動式ポンプよりも圧倒的に小さいです。

非常に低い金属汚染

非常に高い信頼性
摩耗するベアリングやシールがなく、装置の稼働時間、
プロセス機器の寿命を延ばし、メンテナンスコストを
削減します。

非常に長いMTBF (>100年)

フィルターパフォーマンスの向上
オープンポンプヘッド設計、高流量分解能、遠心ポンプの
原理、バルブの不在などは、脈動のない流量を実現し、
フィルターパフォーマンスを向上させます。

脈動のない流量

エアー駆動ポンプよりもかなり小さい
機械的なベアリングの欠如と、ポンプとモータを高度に
組み合わせ統合した設計は、フットプリントを
大幅に削減し、限られたスペースでの
設置を可能にします。

省フットプリント

スラリーと繊細なめっき液に最適
機械的なベアリング、狭いギャップ、裂け目、
デッドゾーンなどの不在、および滑らかな接液部表面は、
繊細な液体に低いストレスでの処理を可能にします。

低せん断計

流量スロットルが不要 – 非常に正確な流量圧力
Levitronixポンプは、可変速度と高分解能により、
広い動作範囲で流量または圧力を正確に制御できます。

高い可制御性と最高の流量レンジ

数mlpmから最大流量まで
Levitronix^®ポンプシステムは、わずか数mlpmから
最大流量までのスムーズな流れを正確に制御および維持し、
競合ポンプまたはバルブベースの流量コントローラの中で
最高のターンダウンレシオを与えます。

最高のターンダウン率

さらにコンパクト化
流量制御に外部接続コントローラが不要な為、
組込費用が安いです。

統合流量コントローラ

25年以上の経験
Levitronix^®ポンプは、バイオ医薬品製造など、他の非常に
要求の厳しい産業でもしっかりと技術確立され、
実績と経験を積んでいます

長い歴史

スマートマニュファクチャリングのための
スマートポンプシステム
BPS-iFシステムは、予測メンテナンスと工場全体のシステム
統合に最適な、高性能データ取得を可能にします。

データマイニングとステータス監視