LFSC-35D.1 超音波クランプオン
マイクロエレクトロニクス用
ウェットプロセス向け
流量測定（PFAチューブ）

Flow Range 0-320 l/min

Accuracy ±1.0% RD

Tube size (OD) 1 ½”

Fluid temp 10-90°C

LEVIFLOW^®LFSC-35D.1クランプオンセンサは、PFAチューブ用における正確で非侵襲流量測定用に設計されています。センサハウジングに取り付けられた2つのピエゾトランスデューサが超音波を発生、受信し、フローが存在する場合、流れと同方向の波が加速され、流れと反対方向の波が減速します。この通過時間の差が流体の速度に比例することを利用して流量を測定します。

利点

非侵襲測定
可動部品がないので、摩耗がなく、
パーティクル発生もありません。

超清浄流体に最適

クランプオン、クランプオフ。
センサは完全に非侵襲的で、数秒で設置できます。

完全に非侵襲的

高精度と再現性 (指示値)
80-320 l/min: ±1%読み取り精度 (RD)
<80 l/min: ±800 ml/min読み取り精度 (RD)

高精度流量測定

最大120°Cの液体温度
センサーは完全に非侵襲的で、高温の液体に最適です。

高温測定に最適

ハイボリュームなアプリケーションへの対応
ハイボリュームなアプリケーションの場合、マルチチャネル
コンバータが利用可能で、1つのコンバータで最大6センサを
処理できます。センサ信号はRS485の2線式バスか
PLCインターフェイスを介して利用でき、ケーブル配線、
フットプリントおよび費用を削減できます。