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プロセスコントローラユニット - 日本語 ja
Levitronix® LEVIBOOST™140は、一定の圧力を維持するように設計されています。LEVIBOOST™は、超高純度のベアリングレスポンプと圧力トランスデューサーで構成されており、圧力を上げるだけでなく、圧力出力をアクティブに監視および制御することで変動を調整します。これにより、装置の供給圧力が設定した圧力に保証されます。LEVIBOOST™は、サブフロアのターンキーソリューションとして設計されており、最小限の設置面積と設備の変更が必要です。
純水の消費量と供給量の変動に依存しない
圧力トランスミッタは、装置に供給されている圧力を
モニタし、その実際値をポンプコントローラに送ります。
これにより、供給圧力の変動とプロセス装置内の個々の
純水消費によって引き起こされる圧力変動を補正できます。
0.25 MPaで115 l/minまで
LEVIBOOST™140は、高性能により、0.4 MPaの
最大圧力または140 l/minの最大流量を生成できます。
業界実績より証明 – 半導体製造 (およびそれ以降) で
最も超高純度ポンプ！
インペラとポンプヘッドケーシングの間に機械的な
接触がないため、摩耗がなく、パーティクルの発生も
理論上、事実上ありません。
最小限の設置面積と設備の変更が必要
超コンパクトな設計により、最小限の変更でサブフロアで
簡単に設置できます。
Technical Brochure