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プロセスコントローラユニット - 日本語 ja
事実
スライドベアリングなどの可動部品の機械的接触による摩擦は摩耗につながります。摩耗によりパーティクルが放出し、ウェーハの欠陥が発生する可能性があります。
従来の遠心ポンプと比較して、Levitronix®ポンプには（スライド）ベアリングを有していません。
試験条件
複数の試験条件で異なるメーカーの3台の大容量遠心ポンプの超純水におけるパーティクル放出を評価しました。流量は11〜190 lpmの間で変化し、ポンプ出口圧力は0.35〜0.62 MPaで変化させました。
結果
Levitronix®ポンプは、すべてのポンプ動作条件において、最もパーティクルの放出が少ないポンプでした。全ての試験において、Levitronix®ポンプの下流で測定されたパーティクル量は、試験ポンプなしで測定された量に近似しました。競合するポンプシステムは、Levitronix®と比較して400倍のパーティクル量を検出しました。
Particle size distribution measured downstream of the pumps at 5gpm and 40 psig
