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Cabot^® EP-6618スラリーを用いた4種ポンプのパーティクル比較 (英)

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Cabot^® EP-6618スラリーを用いた4種ポンプのパーティクル比較 (英)

Keywords:

CMP
スラリー
マイクロエレクトロニクス
空気圧ポンプ
ポンプ比較

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事実
Levitronix^®ポンプと比較して、エア駆動ポンプはチェックバルブおよび他のコンポーネントが原因で強いせん断応力を引き起こす可能性があります。強いせん断応力は、スラリーの凝集を引き起こす可能性があります。凝集したスラリー粒子は、CMP工程でウェーハの欠陥を引き起こすマイクロスクラッチを引き起こす可能性があります。

試験条件
2台のLevitronix^®ポンプ、ダイアフラムポンプ、およびベローズ本ポンプを用いCabot® EP-6618スラリーの状態比較評価を行いました。一定量のスラリーを26lpm/2barで循環させサンプルを採取しました。各サンプルのパーティクル分布を測定し、初期に対するパーティクルの増加を比較しました。

結果
Levitronix^®ポンプでは粒子のサイズに関係なく、パーティクル分布に非常に小さな変化が観察されました。ベローズポンプとダイアフラムポンプでは、特に大きなパーティクルの濃度に大幅な増加が観察されました。