半導体
ウェットプロセスにおける
高清浄度ポンプ

高清浄度ポンプ

極めて低い粒子脱落

Levitronix^®ポンプシステムは、アクティブ磁気浮上を基本技術にしています。インペラとポンプヘッドケースとの機械的な接触はないので、摩耗なく動作し、その結果、パーティクルを発生させません。

ろ過性能の向上

脈動がない送液

圧力と流れの脈動は、フィルターからの粒子放出を増加させ、その寿命を制限することが知られています。オープンなポンプヘッド設計、遠心ポンプの原理、バルブレスにより、完全に脈動のない流れは、フィルター性能を向上させ、その寿命を増加させます。

低金属抽出

小接液面積

Levitronix^®ポンプの接液面積は、同等性能の空気圧ポンプよりも数倍小さいです。これは酸へ抽出を減らし、微量な金属の浸出を減らす事ができます。