Levitronix^® LFS
マイクロエレクトロニクス
ウェットプロセス向けの
超音波高精度
流量測定

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マイクロエレクトロニクス用インライン形超音波流量計

LEVIFLOW^® LFSインライン形流量計は、高純度の液体における正確で非侵襲流量測定用に設計されています。センサハウジングに取り付けられた2つのピエゾトランスデューサが超音波を発生、受信し、流量が存在する場合、流れと同方向の波が加速され、流れと反対方向の波が減速します。この通過時間の差が流体の速度に比例することを利用して流量を測定します。接液部は最も化学薬品に対して抵抗力の強いPFAを使用しています。

LEVIFLOW^®インライン形流量計LFSは、
半導体のウェットプロセスとして、製品の
歩留まりを改善する様々な利点を提供します。

Leviflow LFS

利点

非侵襲測定
可動部品がないので、摩耗がなく、
パーティクル発生もありません。

超清浄流体に最適

広い流量レンジと高精度測定
数ml/m～80l/mの流量レンジで1%RDの読み取り精度誤差

高精度流量測定

ハイボリュームなアプリケーションへの対応
ハイボリュームなアプリケーションの場合、マルチチャネル
コンバータが利用可能で、1つのコンバータで
最大6センサを処理できます。センサ信号はRS485の
2線式バスかPLCインターフェイスを介して利用でき、
ケーブル配線、フットプリントおよび費用を削減できます。