Levitronix® LFS
マイクロエレクトロニクス
ウェットプロセス向けの
超音波高精度
流量測定

LEVIFLOW® LFSインライン形流量計は、高純度の液体における正確で非侵襲流量測定用に設計されています。センサハウジングに取り付けられた2つのピエゾトランスデューサが超音波を発生、受信し、流量が存在する場合、流れと同方向の波が加速され、流れと反対方向の波が減速します。この通過時間の差が流体の速度に比例することを利用して流量を測定します。接液部は最も化学薬品に対して抵抗力の強いPFAを使用しています。

LEVIFLOW®インライン形流量計LFSは、
半導体のウェットプロセスとして、製品の
歩留まりを改善する様々な利点を提供します。
thumbnail-video-leviflow-lfs Leviflow LFS
利点

非侵襲測定
可動部品がないので、摩耗がなく、
パーティクル発生もありません。

超清浄流体に最適

広い流量レンジと高精度測定
数ml/m~80l/mの流量レンジで1%RDの読み取り精度誤差

高精度流量測定

ハイボリュームなアプリケーションへの対応
ハイボリュームなアプリケーションの場合、マルチチャネル
コンバータが利用可能で、1つのコンバータで
最大6センサを処理できます。センサ信号はRS485の
2線式バスかPLCインターフェイスを介して利用でき、
ケーブル配線、フットプリントおよび費用を削減できます。

複数センサ用6チャネルコンバータ

最大180°Cの液体温度
断熱性を高めた高温バージョンで、
高温液体の正確な流量測定が可能です。

高温測定が可能

スマートデジタル信号処理
流量コンバータは、デジタルシグナル
プロセッサ (DSP) を使用し、気泡が
存在する場合でも正確な流量測定を行えます。

気泡に対するロバスト性の向上

スマートセンサ
フルスケール、総容積、気泡検出、高流量アラームなどの
様々なパラメータが提供可能で、Levitronix®サービス
ソフトウェアで設定することができます

設定可能な流量センサパラメータ

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TEST2