LFS-008 반도체 Wet 공정을 위한 고 정밀 초음파 유량 측정

Flow Range 0 – 0.8 l/min
Accuracy 측정값의 ±1%
Tube size (OD) ¼”
Wet material PFA
Fluid temp 10-90°C / 50-194°F

LEVIFLOW® LFS-008 인라인 센서는 고순도 유체의 비접촉식 고 정밀 유량 측정을 위해 설계되었습니다. 두 개의 압전 변환기에서 초음파를 생성하며 또 이를 수신합니다. 유량이 있을 경우, 그 유량 방향으로의 파동은 가속되고 그 반대의 파동은 감속됩니다. 수신 시간의 차이는 유속에 비례합니다. 접액부는 PFA 재질로 되어있어 강한 화학물질에 대한 내화학성을 갖고 있습니다.

시스템 장점

비접촉식 측정
동작 부품이 없어, 마모가 발생되지 않으므로 사실상 파티클을 발생시키지 않습니다.

고순도 유체에 이상적

높은 정확도와 측정 재현성
0.035 – 0.8 lpm: ±1 % 정확도와 <0.5 %  재현성.
0 – 0.035 lpm: ±0.35 mlpm 정확도와 ±0.17 mlpm 재현성.

 

고 정밀 유량 측정

고용량 공정에 적합
고용량 공정의 경우, 한 개의 컨버터를 통하여 최대 6개의 센서를 연결할 수 있는 멀티 채널 컨버터의 사용이 가능합니다. 센서의 신호는 RS485 two-wire bus 또는 PLC 인터페이스를 통하여 연결이 가능하므로 케이블 작업, 설치 공간, 그리고 비용을 절감할 수 있습니다.

다중 센서용 6 채널 컨버터

스마트 디지털 신호 처리
유량계 컨버터는 디지털 신호 처리장치 (DSP)가 내장되어 있어 버블이 있는 경우에도 정확한 유량 측정이 가능합니다.

버블에 대한 향상된 정확성

스마트 센서
Full scale, Total volume, 버블 감지 또는 High flow Alarm과 같은 다양한 파라미터가 제공되며, Levitronix® 서비스 소프트웨어를 통하여 설정 가능합니다.

설정 가능한 유량 센서 파라미터

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