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공정 제어 기기 - 한국어 ko
Levitronix® LEVIBOOST™는 균일하고 안정적인 압력을 제공할 수 있도록 설계되었습니다. 고청정 베어링리스 펌프와 압력 센서로 구성된 Levitronix® LEVIBOOST™는 압력을 증가시켜 줄 뿐만 아니라, 압력 모니터링을 통해 균일한 압력을 유지할 수 있도록 능동적인 압력의 제어 및 보상을 제공합니다. 이로 인하여 실제 사용 지점에서의 올바르고 균일한 압력을 보장합니다. Fab 하부에 간단히 설치가 가능하도록 턴키 솔루션으로 설계된 LEVIBOOST™는 작은 설치 공간과 최소한의 기반 시설 수정으로 사용 가능합니다.
DIW 공급 및 사용량의 변화에 영향을 받지 않음
압력 센서는 현재 공급 압력을 모니터링하고 그 값을 펌프 컨트롤러로 전송합니다. 이를 통해 각각의 공정 설비에서 사용되는 유체의 공급 압력 변동 및 설정 압력의 차이를 보상할 수 있습니다.
2.5 bar에서 최대 42 L/min
LEVIBOOST™ 75의 뛰어난 성능으로, 최대 4 bar 이상의 압력과 75 L/min의 최대 유량을 생성할 수 있습니다.
반도체 제조에서 (반도체 이외의 다른 산업에서도) 가장 깨끗한 펌프!
임펠러와 펌프 헤드 케이싱 사이에 기계적인 마찰이 없어 마모를 발생시키지 않으므로, 사실상 파티클을 생성하지 않습니다.
최소한의 설치 공간 및 수정 필요
초소형 디자인으로 최소한의 기반 시설 수정만으로 Fab 하부에 쉽게 설치할 수 있습니다.
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