반도체 제조 산업에서 원심 펌프와 다어어프램 펌프가 세정 공정 성능에 미치는 영향을 확인할 수 있는 실험 자료가 없었습니다. 이러한 이유로, 이 프로젝트에서의 초점은 표면 처리에 대한 펌프의 영향을 확인함에 있습니다. 이 실험의 목적과 방법을 아래와 같이 설정하였습니다:
펌핑 방법 (다이어프램 펌프 vs 자기 부상 원심 펌프)이 세정 및 파티클 성능에 미치는 영향
탱크 내에서 맥동의 유무에 따른 유체의 거동
AuthorProf. Jin-Goo Park
CompanyHanyang University
Pages19
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