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공정 제어 기기 - 한국어 ko
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Facts
펌프에 의해 발생된 압력 및 유량의 맥동은 액체의 불연속적인 배출을 통하여 수격 현상을 발생시킵니다. 다공성 미세 멤브레인 필터에서 발생되는 수격 현상은 필터에서 파티클의 필터링 효과를 저하시키며 필터링 되지 못한 파티클로 인하여 웨이퍼 결함을 일으킬 수 있습니다.
Test conditions
Levitronix® 펌프, 벨로우즈 펌프 및 다이어프램 펌프에서 기인된 맥동이 필터의 성능 유지 및 파티클 필터링 성능에 미치는 영향을 비교했습니다. 3 종류의 각각 다른 멤브레인 필터가 사용되었습니다. 필터 성능에 대한 효율은 각 필터의 125nm 파티클 사이즈에서 로그 감소 값(LRV)으로 표시됩니다.
Results
압력 맥동은 필터의 종류와 상관없이 필터의 성능 유지에 부정적인 영향을 미칩니다. Levitronix® 펌프는 각각의 테스트 조건에서 가장 안정적이고 균일한 유량을 제공하였으며, 가장 높은 필터 성능 유지 효율을 보였습니다.
압력 맥동에 따른 필터 성능 유지 효율
