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Facts
슬라이드 베어링과 같은 동작 부품의 기계적 마찰은 마모를 발생시킵니다. 마모는 파티클을 유출시켜 웨이퍼의 결함을 유발할 수 있습니다.
Levitronix® 펌프에는 기존의 원심 펌프와는 다르게, (슬라이드) 베어링이 없습니다.
Test conditions
각각의 제조 업체의 3종류 고용량 원심 펌프가 다양한 테스트 조건에서 동작하는 동안 DIW에서의 파티클 유출에 대한 평가가 진행되었습니다. 유량은 11 – 190 lpm, 펌프 후단의 압력은 3.5에서 6.2 bar로 다양한 조건의 평가가 진행되었습니다.
Results
Levitronix® 펌프는 동작 조건에 관계없이 이 실험에서 평가된 펌프들 가운데 가장 적은 일관성 있는 파티클 유출 결과를 보였습니다. 모든 테스트에서 Levitronix® 펌프의 후단에서 측정된 파티클 농도는 테스트 없이 측정된 기준 농도와 매우 유사한 값을 보였습니다. 경쟁사 펌프 시스템은 Levitronix® 펌프에 비하여 최대 400배 많은 파티클을 발생시켰습니다.
5 gpm & 40psig 조건의 펌프 후단에서 측정된 파티클 사이즈 분포
