반도체 Wet 공정을 위한 BFS 내화학성 자기부상 팬 시스템

Levitronix^® BFS는 반도체 제조의 다채롭고 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다. 자기 부상을 기반으로 팬 임펠러는 모터의 자기장에 의해 부상되고 동작됩니다. 동작 부품 간의 넓은 간격으로 마모가 발생하지 않으며 파티클을 생성하지 않아 가장 깨끗한 팬이 됩니다. 임펠러와 스테이터는 완벽하게 밀폐되어 있어 내화학성이 강하며, 방폭용으로 사용 가능하도록 인증 되어있습니다. 또한 기계적인 베어링이 없으므로 팬 고장율이 줄어들어 장비의 가동시간을 크게 증가시킵니다. 압력 또는 유량 센서가 연결된 상태에서 팬을 작동하여 전체 속도 범위에서 매우 높은 정밀도로 일정한 유량을 보장할 수 있습니다. 강한 힘과 더불어 설치공간이 작습니다.

가스 공급부터 배기 제어까지, Levitronix^® 베어링리스 팬은 수율 향상에 도움이 될 것입니다!

Levitronix^® – 최고의 수율을 위한 최고의 팬!