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공정 제어 기기 - 한국어 ko
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Facts
체크 밸브, 벨로우즈 또는 다이어프램과 같은 동작 부품의 기계적 마찰은 부품의 마모를 발생시킵니다. 이러한 마모로 인하여 웨이퍼에 결함을 발생시킬 수 있는 파티클이 발생할 수 있습니다.
Test Conditions
4개의 각각 다른 제조업체에서 제작한 10종류의 펌프를 다양한 조건에서 테스트하였으며, UPW를 이용하여 펌프의 동작 중 유출되는 파티클에 대해 평가했습니다. 해당 테스트 그룹의 모든 펌프를 비교하기 위해 유사한 동작 조건에서 테스트를 진행했습니다.
Results
Levitronix® 펌프는 동작 조건에 관계없이 다른 모든 펌프들 중 가장 작은 파티클 유출 결과를 보였습니다. 모든 테스트에서, Levitronix® 펌프의 후단에서 측정된 파티클 농도는 펌프를 사용하지 않은 기준값(Background)과 매우 유사했습니다.
5 gpm & 40psig 조건의 펌프 후단에서 측정된 파티클 사이즈 분포
