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공정 제어 기기 - 한국어 ko
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기존의 통념으로 원심 펌프에 의해 생성된 전단 응력이 너무 높아 전단에 민감한 슬러리를 전달하기 위해서는 원심 펌프를 사용하기 힘들다는 의견이 있었습니다. 이 연구에서는 전단에 최적화된 원심 펌프를 사용하여 기존의 슬러리 이송 방식(벨로우즈 펌프 또는 다이어프램 펌프)과 비교하여 현저히 낮은 슬러리 특성 변화 조건으로 슬러리를 이송 및 순환시킬 수 있음을 보여주고 있습니다. 원심 펌프를 사용할 경우, 웨이퍼의 결함을 유발하고 시스템 필터의 수명을 단축시킬 수 있는 큰 사이즈의 입자 농도 증가가 현저히 줄어드는 것을 확인할 수 있습니다.