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Semi F40/F57에 따른 LEVIFLOW® 유량 센서의 용출 테스트

Keywords:
  • 유량 센서
  • 반도체 공정
  • 파티클 유출
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Facts
유량 센서의 접액부가 산성 케미컬에 노출이 되면 미세 금속이 침출될 수 있습니다. 미세 금속 오염은 반도체 장치의 전기적 특성에 영향을 줄 수 있습니다.

Test Conditions
유량 센서 LFS-20과 LFS-80을 UPW로 채워준 후 사용된 UPW의 모든 금속, 반응성 실리카 및 음이온 분순물의  수준을 측정했습니다.

Results
두 센서 모두 F40/F57 기준 내의 측정 레벨을 보였습니다.

Author M. Reutz, R. Braitmayer
Company ATU GmbH
Document Number 0910 066
Pages 3