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H2O2를 이용한 Levitronix® BPS-4 베어링리스 펌프 시스템의 구동 평가

Keywords:
  • 펌프
  • 반도체 공정
  • 탈기 유체
  • 펌프 성능
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Facts
과산화수소(H2O2)와 같은 유체의 가스 방출은 잠재적으로 펌프 성능에 영향을 줄 수 있습니다.

Test Conditions
탈기성 유체를 이용하여 Levitronix® BPS-4 펌프의 성능을 평가하였습니다. 펌프의 유량-압력 곡선은 유사한 케미컬 이송 공정을 시뮬레이션하기 위하여 30%의 H2O2가 포함된 DIW을 사용한 테스트를 통하여 작성되었습니다.

Results
DIW와 비교하여 30%의 H2O2가 포함된 유체를 펌핑하는 동안 펌프의 토출량에 큰 차이는 없었습니다.

BPS-4 차압 vs 유량 곡선 (35° C, 30% H2O2)

Author Gary van Shooneveld
Company CT Associates
Document Number LTX 1182 2313
Pages 16