반도체 Wet 공정을 위한 BPS 고청정 펌프 시스템

Levitronix^® 베어링리스 펌프 시스템은 다양한 유체를 사용하는 고청정 공정을 위해 설계되었습니다. 자기 부상을 기반으로 펌프 임펠러는 모터의 자기장에 의해 부상되어 동작합니다. 동작 부품 간의 넓은 간격은 기계적 접촉이 없도록 하여, Levitronix^®를   가장 깨끗한 펌프 시스템으로 만듭니다. 마모가 될 수 있는 씰이나 베어링이 없어 펌프의 가동 시간을 증가시킵니다. 또한 고성능 플라스틱 수지로 만들어진 펌프 헤드로 인하여 내화학성이 우수합니다. BPS는 또한 넓은 간격으로 인해 파티클 응집이 실질적으로 발생하지 않아 슬러리 공정에 이상적입니다.
다양한 속도와 높은 정밀도로, BPS 시리즈는 우수한 제어와 매우 넓은 유량 범위를 가지며 맥동이 없습니다. 3 세대에 걸쳐 지속적으로 개발된 펌프 시스템을 통해, Levitronix^® BPS는 스마트한 펌프 기능과 매우 작은 설치공간에 대해 알려 졌을 뿐만 아니라 높은 정확성의 표본이 되었습니다.
극소량의 도징 공정에서부터 벌크 케미컬 이송(BCD)까지, Levitronix^® BPS는 수율 향상에 도움이 될 것입니다!

Levitronix^® – 최고의 수율을 위한 최고의 펌프