LEVIBOOST™ 75 올바르고 균일한 압력

Max flow 75 lpm / 20 gpm
Fittings Pillar®/ Flare (1″)
Wet material PFA/ PTFE

Levitronix® LEVIBOOST™는 균일하고 안정적인 압력을 제공할 수 있도록 설계되었습니다. 고청정 베어링리스 펌프와 압력 센서로 구성된 Levitronix® LEVIBOOST™는 압력을 증가시켜 줄 뿐만 아니라, 압력 모니터링을 통해 균일한 압력을 유지할 수 있도록 능동적인 압력의 제어 및 보상을 제공합니다. 이로 인하여 실제 사용 지점에서의 올바르고 균일한 압력을 보장합니다. Fab 하부에 간단히 설치가 가능하도록 턴키 솔루션으로 설계된 LEVIBOOST™는 작은 설치 공간과 최소한의 기반 시설 수정으로 사용 가능합니다.

펌프 성능 곡선
펌프 성능 곡선
시스템 장점

DIW 공급 및 사용량의 변화에 영향을 받지 않음
압력 센서는 현재 공급 압력을 모니터링하고 그 값을 펌프 컨트롤러로 전송합니다. 이를 통해 각각의 공정 설비에서 사용되는 유체의 공급 압력 변동 및 설정 압력의 차이를 보상할 수 있습니다.

압력 변동에 대한 능동적 보상

2.5 bar에서 최대 42 L/min
LEVIBOOST™ 75의 뛰어난 성능으로, 최대 4 bar 이상의 압력과 75 L/min의 최대 유량을 생성할 수 있습니다.

고성능

반도체 제조에서 (반도체 이외의 다른 산업에서도) 가장 깨끗한 펌프!
임펠러와 펌프 헤드 케이싱 사이에 기계적인 마찰이 없어 마모를 발생시키지 않으므로, 사실상 파티클을 생성하지 않습니다.

파티클 생성이 없음

최소한의 설치 공간 및 수정 필요
초소형 디자인으로 최소한의 기반 시설 수정만으로 Fab 하부에 쉽게 설치할 수 있습니다.

간단한 설치

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