반도체 제조에서 (반도체 이외의 다른 산업에서도) 가장 깨끗한 팬
팬 헤드 케이싱과 임펠러 사이에 기계적인 마찰이 없어 마모를 발생시키지 않으므로, 사실상 파티클을
생성하지 않습니다.

가장 깨끗한 팬

유독가스 대한 강한 내구성
임펠러와 스테이터는 완벽하게 밀폐되어 있어
유독물질에 대한 내구성이 뛰어납니다.

내화학성

ATEX/ IECEx 인증
BFS는 ATEX/ IECEx 인증을 받았으며 가스의 경우 ATEX Zone 1 영역, 먼지의 경우 ATEX Zone 21영역 내에
설치가 가능합니다.

방폭 인증

최대 37 Nm3/min
임펠러가 부양된 상태에서, 최고 7400 rpm의
속도로 고 유량을 제공할 수 있습니다.

높은 유량 범위

파티클 발생 저감
기계적인 베어링이 없으므로,
팬 고장율이 현저히 낮습니다.

유지보수 비용 절감

설치 공간과 케이블 연결 작업이 현저히 감소
모터와 펌프 컨트롤러가 드라이버 하우징에 통합되어 설치 공간이 크게 줄어듭니다.

통합 전자 시스템

수 Ncm3/min에서 최대 유량까지
BFS는 수 Ncm3/min부터 최대 유량까지 균일하고 정확한 유량의 제어 및 유지를 할 수 있어 가장 높은 턴 다운 비율을 제공합니다.

가장 높은 턴 다운 비율

장비 가동률 증가
마모 및 파손이 일어날 수 있는 베어링과 씰이 없어 장비 가동시간이 크게 증가합니다. 이로 인하여 공정 장비의 수명을 연장시키고 유지 보수 비용을 절감할 수 있습니다.

매우 긴 수명

센서 피드백 컨트롤
유량 또는 압력 센서를 펌프 시스템과 연동하여, 원하는 공정 조건을 자동으로 유지할 수 있도록 피드백
루프를 사용해 보세요.

통합 유량 및 압력 컨트롤러

기존 팬보다 현저히 작은 설치 공간
BFS는 기존 유사 성능의 경쟁 팬보다 현저히 작은
설치 공간을 제공합니다.

작은 설치 공간 & 저 진동