Levitronix® PTM

반도체 Wet 공정을 위한
믹싱과 펌핑의 동시구현

Levitronix® 펌프 탱크 믹서 (PTM)는 다채로운 반도체 Wet 공정을 위해 설계되었습니다. 믹싱과 펌핑을 하나의 유닛으로 결합하였으며, 자기 부상 원리를 기반으로, 임펠러는 모터의 자기장에 의해 부상하고 동작합니다. 동작 부품 간의 넓은 간격은 기계적 마찰을 발생시키지 않아 마모가 발생하지 않으며, 마모가 될 수 있는 베어링과 파손될 씰이 없습니다. PTM 헤드는 임펠러, 케이싱 하단 부품 및 탱크에 장착되는 플랜지와 함께 제공됩니다.  Levitronix®는 탱크와 PTM과의 원활한 결합을 위해 케이싱 덮개의 설계 사양을 제공합니다. 모든 재료는 내 화학성 고순도 불소중합체 수지로 제작되었습니다.

Levitronix® 펌프 탱크 믹서(PTM)는 반도체 Wet 공정에 차별화된 이점을 제공하여 제품 수율을 향상시킵니다.
장점

단일 장치
PTM은 믹싱과 펌핑을 하나의 장치로 결합하여 효율성을 높였습니다.

믹서와 펌프를 하나로 결합

슬러리 및 다양한 도금액에 이상적
부드러운 플라스틱 표면과 더불어 기계적 베어링, 좁은 틈 및 데드존이 없는 디자인을 통해 민감한 유체의 원활한 공급을 제공합니다.

Low Shear 설계

업계 경험으로 입증
– 가장 깨끗한 펌프 믹서
임펠러와 펌프 헤드 케이싱 사이에 기계적인 마찰이 없어 마모를 발생시키지 않으므로, 사실상 파티클을 생성하지 않습니다.

고 청정 공정

믹싱 시간 단축
 다이나믹한 전자식 제어는 믹싱 시간을 단축하는 데 도움이
되는 맞춤형 속도 패턴을 가능하게 합니다.

전자식 속도 제어

고객의 공정을 위한 정확하고, 안정적이며 신뢰성 있는 유량 및 압력 제공.
개방형 펌프 헤드 설계, 넓은 유량 범위, 원심 펌프 고유의 특징 및 밸브를 사용하지 않는 구조로 맥동이 전혀 없는 유량을 제공합니다.

맥동 없는 유량

더 이상 유체의 이상 압력 변화가 없습니다
– 매우 정확한 유량 및 압력
다양한 속도 제어와 높은 정밀도로 PTM은 광범위한 작동 범위에서 정밀한 유량 및 압력의 제어를 제공합니다.

높은 제어성 & 넓은 유량 범위

매우 높은 신뢰성
마모 및 파손이 일어날 수 있는 베어링이과 씰이 없어 장비 가동시간이 크게 증가합니다. 이로 인하여 공정 장비의 수명을 연장시키고 유지 보수 비용을 절감할 수  있습니다.

최대 MTBF (100년 이상)

공압 펌프에 비해 현저히 작은 디자인
획기적인 펌프와 모터의 통합기술 및 베이링리스 디자인을 통하여, 제한된 공간에 설치가 가능하도록 펌프 사이즈에 대한
요구사항을 크게 개선하였습니다.

작은 설치 공간

스마트 제조를 위한 스마트 믹서
PTM은 고성능 공정 데이터 수집이 가능하여, 예방 유지 보수 및 공장 전체 시스템에 통합적으로 사용될 수 있습니다.

지속적인 데이터 취합 및 모니터링

펌프 성능 곡선
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