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剪切应力和泵工作原理对CMP Slurry的影响

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传统观点认为,离心泵产生的剪切应力过高,无法使用泵输送对剪切力敏感的Slurry。本文表明,与传统的Slurry输送方法相比,,剪切力优化的离心泵可以让循环的Slurry伤害最小。产生的大颗粒,这可能导致晶圆缺陷并限制过滤器的寿命,确定的离心泵伤害显著减少

Author Marc Litchy et. al.
Company CT Associates et. al.
Document Number /
Pages 3