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气动泵系统中的颗粒产生

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随着半导体制造集成电路结构的不断变小,泵等流体处理设备必须达到比以往更高的纯度标准。气动泵系统,如波纹管或隔膜泵,由于止回阀和其他组件的磨损可能会导致颗粒子产生。在本视频中,您将了解气动泵系统中颗粒是如何产生的,以及如何将气动泵与 Levitronix®泵进行比较 。

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