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在水中十种不同泵的颗粒脱落比较

Keywords:
  • 微电子
  • 微尘颗粒析出
  • 气动泵
  • 泵比较
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事实
由于逆止阀、波纹管或隔膜等移动部件的机械接触导致磨损。磨损可导致颗粒脱落,从而导致晶圆缺陷。

测试条件
评估来自四家不同制造商的十台泵,在多个测试条件下和超纯水中的运行过程脱落颗粒数,以便在典型的操作条件下对所有泵进行比较。

结果
无论泵的运行条件如何Levitronix® 泵始终能于所有评估泵中脱落最少的颗粒。在所有测试中,在 Levitronix®下游测量的粒子浓度泵非常接近系统中没有测试泵的测量背景浓度。

使用大型泵于流率5gpm压力40 psig在后段量测到的粒径分布

Author Marc Litchy
Company CT Associates
Document Number LTX 1106 2034.1
Pages 15