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根据semi F40/F5, LEVIFLOW®流量传感器微金属渗出测试

Keywords:
  • 流量感测器
  • 微电子
  • 微尘颗粒析出
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事实
将流率传感器的接液表面暴露在酸性化学物质中,会导致从微量金属渗出。微量金属污染可导致半导体组件的电气性能发生改变。

测试条件
流量传感器 LFS-20 和 LFS-80 充满 UPW。在UPW中测量所有微量金属水平, 活性二氧化硅和离子不纯物。

结果
对于这两个传感器,所有测量级别均在Semi F40/F57 的规格范围内

Author M. Reutz, R. Braitmayer
Company ATU GmbH
Document Number 0910 066
Pages 3