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盐酸中五种不同泵中微量金属渗出比较

Keywords:
  • 隔膜泵
  • 微电子
  • 泵比较
  • 微量金属污染
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事实

泵接液表面积暴露在酸性化学物质中可能导致微量金属渗出。 微量金属污染导致半导体组件的电气性能发生改变。Levitronix®泵的接液表面积比与具有相同液体输送能力的隔膜泵小几倍。

测试条件
35% HCl 用作提取物。每次测试期间,通过泵保持化学品的连续流动。每次测试前都采集了背景样本,并以对数比例在相同间隔采集了进一步样本。分析结果转换为渗出累计。

结果
与Levitronix®泵相比,隔膜泵的表面污染的污染率高达9倍以上

trace-metal-extraction-of-three-levitronix-pumps-compared-to-two-diaphragm-pumps

Trace metal extraction of three Levitronix® pumps compared to two diaphragm pumps

Author Marc Litchy
Company CT Associates
Document Number LTX 977B 1979
Pages 17