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Cabot^® WIN W7300-A18 Slurry颗粒子大小分布的三种泵系统比较

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Cabot^® WIN W7300-A18 Slurry颗粒子大小分布的三种泵系统比较

Keywords:

化學機械研磨
研磨液
BPS-4
微电子

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事实
与 Levitronix^® 泵相比，气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致slurry聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕，进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。

测试条件
评估了 Levitronix^® 评估了Levitronix®BPS-4泵、隔膜泵和波纹管泵对Cabot^® WIN W7300-A18 slurry健康的影响。11L 的slurry在30lpm和2.1bar持续循环。样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布，并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较。

结果
无论颗粒大小如何， Levitronix^® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵，观察到颗粒浓度显著增加，特别是在大颗粒浓度方面。