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新的Levitronix® BPS-3 泵在超纯水的初始冲洗过程中的粒子脱落评估

Keywords:
  • 初始冲洗
  • 微电子
  • 微尘颗粒析出
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事实
清洗新的泵中原始颗粒污染。清洗的质量取决于单位冲洗量减少的颗粒水平

测试条件
评估一台 Levitronix® BPS-3泵在初始冲洗原始颗粒污染。泵连接到 UPW 的源头,冲洗了 48 小时。并测量了泵下游的颗粒浓度。

结果
在冲洗了420升水后,泵增加了不到0.1颗粒/毫升。这个泵的清理质量非常好。

于冲洗BPS-3 pump时产生的不同粒俓之颗粒所累加的颗粒浓度

Author Dennis Chilcote
Company CT Associates
Document Number PP 577 0487
Pages 3