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Cabot iCue® 600Y75 Slurry颗粒大小分布于四种不同泵的比较

Keywords:
  • 化學機械研磨
  • 研磨液
  • 微电子
  • 气动泵
  • 泵比较
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事实
与Levitronix® 泵相比,气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致slurry聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕,进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。

测试条件
评估了两台 Levitronix® 泵、一台隔膜泵和一台波纹管泵,以评估它们对Cabot iCue®600Y75 slurry质量的影响。固定容积的slurry在26 lpm和2bar 持续循环,样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布,并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较.

结果
无论颗粒大小如何,Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵,观察到显著增加,特别是在大颗粒浓度方面。

颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性

颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性

颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性

颗粒浓度与所选择的粒径通道之起始浓度的相关性

Author Marc Litchy
Company CT Associates
Document Number LTX 979 1589
Pages 8