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SiLECTTM 6000 Slurry颗粒大小分布于四种不同泵的比较

Keywords:
  • 化學機械研磨
  • 研磨液
  • 微电子
  • 气动泵
  • 泵比较
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事实
与 Levitronix® 泵相比,气动泵由于逆止阀门和其他部件而会产生剪切力。泵中的剪切力可导致泥浆聚集。而聚集的slurry颗粒可导致微刮痕,进而导致 CMP 中的晶圆缺陷。

测试条件
评估了两台Levitronix® 泵、一台隔膜泵和一台波纹管泵,以评估它们对Cabot SiLECTTM 6000 slurry 质量的影响。固定容积的slurry在30lpm和2.1bar持续循环。样本在定义的时间从系统中抽取并分析。测量了每个样本的颗粒大小分布,并将每个颗粒大小的浓度与初始浓度进行比较。

结果
无论颗粒大小如何,Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵,观察到显著增加,特别是在大颗粒浓度方面。

所有测试在1000个周转数后所量测到增加的浓度

Author Marc Litchy
Company CT Associates
Document Number LTX 1020 1648
Pages 9