事实
滑动轴承等移动部件的机械接触导致磨损。磨损可导致颗粒脱落，从而导致晶圆缺陷。
与传统的离心泵相比，Levitronix® 泵没有（滑动）轴承。
测试条件
对不同制造商的三台高能力离心泵进行了评估，在超纯水中运转, 评估多个测试条件下脱落的颗粒数。流速从11至190 lpm不等，而泵出口压力从 3.5 到 6.2 bar不等。
结果
无论操作条件如何Levitronix®泵始终能保持的最少泵颗粒于本研究评估。在所有测试中，在 Levitronix®下游测量的粒子浓度泵非常接近系统中没有测试泵的背景测量浓度。竞争泵系统中所脱落的颗粒是Levitronix®泵的400倍之多。
Particle size distribution measured downstream of the pumps at 5gpm and 40 psig
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