事实
与 Levitronix® 泵相比，气动泵由于逆止阀门和其他部件而会导致剪切力。泵中的剪切应力可导致slurry聚集。聚集的slurry颗粒可导致微小刮痕，导致 CMP 中晶圆缺陷。
测试条件
评估了Levitronix® BPS-4泵、隔膜泵和波纹管泵对Cabot Semi-Sperse® 12 slurry质量的影响。固定容积的slurry在30lpm和 2.1bar持续循环，并在定义的时间从系统中抽取样本进行分析。测量了每个样品的颗粒大小分布，并比较了粒子浓度相对于初始浓度的增加。
结果
无论颗粒大小如何， Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵，观察到显著增加，特别是在大颗粒浓度方面。
Effect of pumps on particles ≥ 0.56 µm (linear scales)
生物工艺 
微电子 
Flow Controllers 
Flow Sensors 
Mixers 
Fans 
Pressure Booster 
Process Control Units 