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比较三种泵对 Cabot Semi-Sperse® 12 Slurry颗粒大小分布的比较

Keywords:
  • 化學機械研磨
  • 研磨液
  • 微电子
  • 气动泵
  • 泵比较
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事实
与 Levitronix® 泵相比,气动泵由于逆止阀门和其他部件而会导致剪切力。泵中的剪切应力可导致slurry聚集。聚集的slurry颗粒可导致微小刮痕,导致 CMP 中晶圆缺陷。

测试条件
评估了Levitronix® BPS-4泵、隔膜泵和波纹管泵对Cabot Semi-Sperse® 12 slurry质量的影响。固定容积的slurry在30lpm和 2.1bar持续循环,并在定义的时间从系统中抽取样本进行分析。测量了每个样品的颗粒大小分布,并比较了粒子浓度相对于初始浓度的增加。

结果
无论颗粒大小如何, Levitronix® 泵的颗粒大小分布变化不大。通过波纹管和隔膜泵,观察到显著增加,特别是在大颗粒浓度方面。

effect-of-pumps-on-particles-≥-0.56-µm-linear-scales

Effect of pumps on particles ≥ 0.56 µm (linear scales)

Author Marc Litchy
Company CT Associates
Document Number LTX 775 0935
Pages 10