用于向 CMP 平坦化设备中Slurry的输送系统可能会损坏Slurry。在这项实验中，使用各种泵（波纹管、隔膜和磁悬浮离心泵）以固定的流率和压力模拟Slurry输送回路重复循环四种Slurry，以确定循环对Slurry质量的影响。在每次测试中，都监测了一些Slurry质量参数，包括Slurry中颗粒的大小分布。大多数Slurry质量参数在测试期间未受影响。然而，观察到Slurry颗粒大小分布（PSD）的大颗粒尾部（颗粒≥0.5μm）发生显著变化。泵的型式和Slurry型在变化的幅度中都发挥了重要作用。在一些Slurry中，在使用隔膜和波纹管泵于循环期间观察到大颗粒浓度的显著增加，而在其他Slurry中则未观察到大颗粒浓度的显著增加。使用磁悬浮离心泵，无论测试的Slurry类型如何，都观察到最少的变化。
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