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流体处理元件对Slurry 品质的影响

Keywords:
  • 化學機械研磨
  • 研磨液
  • 微尘颗粒
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这项研究调查了泵送系统和隔膜阀对 CMP Slurry的物理特性或”健康”的影响。健康是通过测量Slurry颗粒大小分布的变化来确定的。测试了三种类型的泵送系统:波纹管、隔膜和磁悬浮离心泵。波纹管和隔膜系统导致Slurry中大颗粒的浓度显著增加,而离心泵收效甚微。浓度的增加导致用于去除Slurry中大粒径颗粒的过滤器寿命缩短。阀门对流经这些阀门的Slurry特性影响甚微,但当阀门开启或闭合时,会增加大颗粒浓度。但增长率仍大大低于波纹管和隔膜泵送系统。总的来说,本文表明,Slurry在制造后如何处理,对Slurry中大颗粒的浓度有显著的影响。一些处理技术大大提高了大颗粒浓度,并有望降低Slurry抛光效率。现有的其他技术可显著减少Slurry特性的变化

Author Marc R. Litchy et. al.
Company CT Associates, Inc.
Document Number /
Pages 13