这项研究调查了泵送系统和隔膜阀对 CMP Slurry的物理特性或”健康”的影响。健康是通过测量Slurry颗粒大小分布的变化来确定的。测试了三种类型的泵送系统：波纹管、隔膜和磁悬浮离心泵。波纹管和隔膜系统导致Slurry中大颗粒的浓度显著增加，而离心泵收效甚微。浓度的增加导致用于去除Slurry中大粒径颗粒的过滤器寿命缩短。阀门对流经这些阀门的Slurry特性影响甚微，但当阀门开启或闭合时，会增加大颗粒浓度。但增长率仍大大低于波纹管和隔膜泵送系统。总的来说，本文表明，Slurry在制造后如何处理，对Slurry中大颗粒的浓度有显著的影响。一些处理技术大大提高了大颗粒浓度，并有望降低Slurry抛光效率。现有的其他技术可显著减少Slurry特性的变化
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