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用于微电子湿式应用的 BPS 超洁净泵系统

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Levitronix® 无轴承泵系统专为超洁净处理精密特定液体而设计。基于主动磁悬浮,泵叶轮由电机磁场悬浮并驱动。宽的间隙确保移动部件之间没有机械接触,使利Levitronix®最纯净的泵系统。没有密封件或轴承磨损,因此设备上线生产时间大幅增加。此外,该泵将液体密封在高性能塑料树脂中,对最苛刻的化学物质具有极强的抗腐蚀性。BPS 也非常适合Slurry,因为宽的间隙确保几乎没有颗粒聚集。
BPS 系列具有可变的速度和高分辨率,可在非常宽的流量范围和无脉动范围内实现高可控性。Levitronix®BPS 经过三代泵系统的不断发展,不仅以其智能泵功能和非常小的占地面积而闻名,而且成为最高可靠性的标杆。
从最小的剂量添加应用到批量化学输送,Levitronix® BPS 将有助于提高您的产量!

Levitronix®– 更好的泵,以获得更好的收益!

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