媒体中心

Back to Media Center

Levitronix®泵系統用於半導體製造工藝

View document

Levitronix®泵系统是一种革命性的泵,没有磨损的轴承或断裂的密封件。根据磁悬浮原理,泵的叶轮悬浮,无接触,在密封外壳内,由电机的磁场驱动。叶轮和泵头外壳均由耐化学、高纯度氟碳树脂制成,这些树脂共同构成泵头。连续流速和压力通过电子调节叶轮速度并精确控制,从而消除任何脉动。由于没有机械轴承和一体的泵头设计,污染的风险大大降低。叶轮和泵头外壳之间没有狭窄的间隙,加上低剪切力泵设计,可以温和、流畅地泵送敏感的液体。

Company Levitronix
Document Number Levitronix_Brochure_Semiconductor_Manufacturing_V05
Pages 16