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泵对晶圆表面清洁的影响

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没有实验证据关于离心泵和隔膜泵对微电子加工业清洁工艺性能的影响。因此,在目前的项目中,重点是泵对表面清洁的影响。工作的目标和方法如下:

    1. 研究泵输送方法(隔膜与磁悬浮泵)对清洁和颗粒的影响
    2. 调查桶槽中有和无脉动的流体流动行为
Author Prof. Jin-Goo Park
Company Hanyang University
Pages 19