事实
泵接液表面暴露于酸性化学物质中可能导致微量金属渗出。微量金属污染可导致半导体器件的电气性能发生改变。
与 MagDrive 泵相比 Levitronix® 泵中的接液部件从来不使用离心铸造方法生产。离心铸造可导致在接液部分有微量金属污染，随后释放到液体中。
测试条件
35% HCl 用作提取物。每次测试期间，通过泵保持化学品的连续流动。每次测试前都采集了背景样本，并以对数比例在相同间隔采集了进一步样本。分析结果转换为渗出累计
结果
与Levitronix ®相比，MagDrive泵的表面污染高达1000倍以上
Trace metal extraction of a Levitronix® Pump compared to two magnetic drive pumps
生物工艺 
微电子 
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