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适用于批量化学材料输送的超洁净并安全的泵

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管理工艺流程的完整性从与晶圆直接接触的液体开始。随着小型化的不断发展,对批量化学材料纯度及其供应系统的要求越来越高。
与泵相比,加压容器具有水锤风险,可能导致颗粒物从过滤器释放和安全性问题。在所有用于半导体制造的泵系统中,Levitronix®泵由于没有机械轴承使得几乎没有碎屑颗粒产生,已经成为超纯制程应用的行业标准。

Levitronix®泵系统专设计用于要求苛刻的批量化学材料输送应用,在这些应用中,超纯净和安全的工艺流程将确保最高的产量。

Company Levitronix
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