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适用于批量化学材料输送

的超洁净并安全的泵

管理工艺流程的完整性从与晶圆直接接触的液体开始。随着小型化的不断发展，对批量化学材料纯度及其供应系统的要求越来越高。与泵相比，加压容器具有水锤风险，可能导致颗粒物从过滤器释放和安全性问题。在所有用于半导体制造的泵系统中，Levitronix® 泵由于没有机械轴承使得几乎没有碎屑颗粒产生，已经成为超纯制程应用的行业标准。

Levitronix®泵系统专设计用于要求苛刻的批量化学材料输送应用，在这些应用中，超纯净和安全的工艺流程将确保最高的产量。
益处

最洁净的泵

超低碎屑颗粒产生

Levitronix® 泵系统基于主动磁悬浮。叶轮与泵头机壳之间没有机械耦合，从而实现无磨损运行，因此几乎不会产生碎屑颗粒。

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最安全的生产工艺

无水锤效应

与泵相比，压力容器被安装在一个“非循环”系统中，这承担了水锤的风险。水锤可能导致颗粒从过滤器中释放，并由于大的液压冲击而引起安全性问题。Levitronix®泵允许安装一个循环回路，它可提高过滤器性能和确保最大限度的安全

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Water Hammer In BCD

更强净化效果

多个过滤循环

在循环系统中安装Levitronix®泵可通过过滤器进行多次循环，从而强化了净化效果。相比之下，在单一的过滤步骤中，如在压力容器系统中，大部分的污染物仍然留在液体中。

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产品

微电子clamp-on流量传感器

Non-Invasive Ultrasonic Flow Sensors for PFA

微电子Inline流量传感器

PFA超声波Inline流量传感器

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微电子泵

超洁净无轴承泵

微电子泵-槽式混合器

同时实现混合与泵送

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微电子流量控制器

超洁净无轴承流量控制器

微电子泵（溶剂应用）

Anti-Static Bearingless Pump Systems

增压系统

Turnkey Pressure Boosting and Control

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应用手册: Ultrapure and Safe Pumps for Bulk Chemical Delivery
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