Levitronix® BPS

微电子湿制程应用
超洁净无轴承泵

Levitronix® BPS泵专门设计用于微电子湿制程应用中特定液体的超纯处理。基于主动磁悬浮,泵叶轮被电机磁场悬浮起来,并受其驱动。宽大的间隙确保运转元件之间没有机械接触,因此,不存在磨损。不会产生轴承磨损或密封件损坏。
叶轮和外壳都由耐化学腐蚀的高纯度含氟聚合物树脂制成。通过电子调节叶轮转速进而精确控制流体流量和压力。

Levitronix® BPS泵在微电子湿法应用中具有独特的优势,将为您提高产品质量与产量
BPS Pump Systems
益处

最洁净的泵

经产业经验验证 - 半导体制造(及其他领域)中最纯净的泵!

由于叶轮和泵头壳体之间没有机械耦合装置,不存在磨损,因此实质上不会有碎屑颗粒产生。

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Particle size distribution measured downstream of large pump systems at 5gpm and 40 psig

极低的微量金属污染

显着低于气动泵

Levitronix® 泵的液体接触表面面积要比同等输出功率的气动泵小好几倍。

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Trace metal extraction of three Levitronix pumps compared to two diaphragm pumps

低剪切力设计

非常适用于研磨液和精密电镀液

无机械轴承、窄缝、裂纹和死区,加上光滑湿润的塑性材料表面因此可以对敏感液体进行温和的输送或制程处理。

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Effect of pumps on particles ≥ 0.56 µm (linear scales)

无脉冲流量

为您的制程提供准确、稳定和可靠的流量和压力

开放式泵头设计、高流量分辨率、离心泵原理、以及无阀门设计带来无脉冲的流量,从而提高了超洁净过滤器的性能。

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Retention efficiency as a function of pressure pulsation

无需节流阀—高精度的流量和压力
由于其可调的速率和高分辨率,Levitronix®泵可以在广泛的运行范围内精确控制流量或压力。

高可控性及宽广流量范围

极高的可靠性
由于不会发生轴承磨损或密封件故障,设备正常运行时间增加,您的工艺设备的寿命得以延长,降低维护成本。

最高平均故障间隔时间(>100年)

极宽的流量范围-从每分钟几毫升到最大流量
BPS泵可以精确控制和保持平稳的流量—从每分钟几毫升到最大流量—使它在众多竞争对手泵中拥有最高的调节比。

极高的调节比

显着小于气动泵的安装空间
泵和电机采用高集成设计,加上没有机械轴承,大大减少了安装空间,可被安装在有限的空间内

安装空间小

用于智能制造的智能泵
Levitronix® BPS泵支持高性能的数据采集,是进行预防性维护和在全工厂范围内进行系统集成的理想选择

持续稳定的数据采集和数据监控

噪音大大低于气动泵
叶轮和泵壳的磁力耦合实质上不会产生振动,因此运行非常安静

低噪音、低振动

支持创建反馈回路
将流量或压力传感器集成到泵系统中来创建一个反馈回路,使之能够自动保持您设定的工艺条件。

集成流量控制器

超过25年行业经验
Levitronix®泵在其他要求苛刻的行业(如生物制药)被广泛地认可。

历史悠久

流量压力曲线
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